Fresenius' Zeitschrift für analytische Chemie

, Volume 314, Issue 3, pp 300–300 | Cite as

Chemical analysis of thin semiconducting films using scanning auger electron spectroscopy

  • F. Birmans
  • J. Herion
  • G. Scharl
Original Papers and Abstracts of Lectures
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Keywords

Spectroscopy Physical Chemistry Analytical Chemistry Inorganic Chemistry Auger 

Chemische Analysen dünner Halbleiterschichten mit der Raster-Augerelektronenspektroskopie

Literatur

  1. 1.
    Herion J, Niekisch EA, Scharl G (1980) Solar Energy Mater 4:101–112Google Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag 1983

Authors and Affiliations

  • F. Birmans
    • 1
  • J. Herion
    • 1
  • G. Scharl
    • 1
  1. 1.Institut für FestkörperforschungKernforschungsanlage Jülich GmbHJülichFederal Republic of Germany

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