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Fresenius' Zeitschrift für analytische Chemie

, Volume 314, Issue 3, pp 244–244 | Cite as

Grenzen der Ortsauflösung bei SIMS

  • H. Liebl
Originalmitteilungen bzw. Kurzfassungen der Vorträge

Limitations of the spatial resolution in SIMS

Copyright information

© Springer-Verlag 1983

Authors and Affiliations

  • H. Liebl
    • 1
  1. 1.EURATOM AssociationMax-Planck-Institut für PlasmaphysikGarchingBundesrepublik Deutschland

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