Determination of uranium in powdered quartz at ppb level by fission track method

  • Takashi Nakanishi
Original Papers Industrial Material

Summary

The demand for powdered quartz with low alpha —radioactivity has been increasing in the field of manufacturing semiconductor memory device packages. In this work, the determination of uranium in powdered high-purity quartz samples was studied using a simplified fission track procedure in which ∼ 0.5 g each of sample and a fission track detector (synthetic quartz glass plate, uranium impurity ∼ 0.04 ppb) were loaded in a polyethylene capsule and irradiated with a thermal neutron flux of ∼ 1017 cm−2. An easy procedure was also employed for chemical etching of fission tracks. All measurements of uranium concentration in the samples were made on a relative basis by comparing the unknown track densities to that measured for NBS glass SRM 617. The reliability was established for the present determination of uranium down to ∼ 0.1 ppb. The concentrations of uranium in powdered quartz samples studied in this work were in a range from 7.9 down to 0.12 ppb.

Keywords

Uranium Quartz Glass Fission Track Quartz Sample Powdered Quartz 

Uranbestimmung in Quarzpulver im ppb-Bereich mit Hilfe der Kernspurmethode

Zusammenfassung

Da im Bereich der Halbleiterindustrie eine steigende Nachfrage nach Quarzpulver mit niedriger Alpha-Aktivität besteht, wurde die Uranbestimmung in hochreinem Quarzpulver mit Hilfe einer vereinfachten Kernspurmethode untersucht, bei der jeweils etwa 0,5 g der Probe und des Kernspurdetektors (synthetisches Quarzglasplättchen mit etwa 0,04 ppb U) in eine Polyethylenkapsel gegeben und mit einem thermischen Neutronenfluß von etwa 1017 cm−2 bestrahlt wurden. Ein einfaches Verfahren zum chemischen Ätzen der Spuren wurde angewendet. Alle Messungen der Urankonzentration wurden relativ durchgeführt durch Vergleich der unbekannten Spurdichten mit denen von Standardglas NBS SRM 617. Die Zuverlässigkeit des Verfahrens wurde bis herab zu etwa 0,1 ppb U geprüft. Die in den untersuchten Proben gefundenen Urankonzentrationen lagen im Bereich von 7,9 bis 0,12 ppb.

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Copyright information

© Springer-Verlag 1987

Authors and Affiliations

  • Takashi Nakanishi
    • 1
  1. 1.Department of Chemistry, Faculty of ScienceKanazawa UniversityIshikawa-kenJapan

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