Über den Einsatz eines Gitterspektrometers in der Elektronenstrahlanalyse. II

Abstract

This paper describes the performance of a grating spectrometer used in an electron microprobe analyser as compared to conventional crystal spectrometers in the analysis of boron, carbon, nitrogen, oxygen and fluorine. Detailed data for count rates, detection limits and resolution are given. Advantages and disadvantages are discussed.

Zusammenfassung

Es wird ein Vergleich des Gitterspektrometers mit einem Bleistearat-Kristallspektrometer und einem RAP-Kristallspektrometer in der elektronenstrahlmikroanalytischen Bestimmung von B, C, N, O und F in bezug auf die meßbaren Röntgenimpulsraten, die Erfassungsgrenzen und das Auflösungsvermögen gebracht. Vor- und Nachteile werden diskutiert.