Zur Kohlenstoffbestimmung in Halbleitersilicium

  • W. Bonsels
  • J. L. Lambert
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Zusammenfassung

Zur Bestimmung des Kohlenstoffgehaltes in Halbleitersilicium wurde ein schon bekanntes analytisches Verfahren weiterentwickelt, indem das Silicium in starker Natronlauge gelöst und aus dem unlösbaren Rückstand der Kohlenstoff durch Umsatz mit einem Oxydationsmittel als Kohlendioxid freigesetzt und gas-chromatographisch bestimmt wird.

Die Methode zeichnet sich durch geringe Störanfälligkeit und hohe Nachweisempfindlichkeit aus.

Contribution to the determination of semi-conductor silicon

Abstract

A known process has been further developed in order to determine the carbon concentration in semi-conductor silicon. The silicon was dissolved in strong caustic soda solution, the insoluble residue of carbon was oxidised and the resulting carbon dioxide was determined gas-chromatographically. The method was proved to have a high measurement sensitivity and to be relatively insusceptible to external disturbances.

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Copyright information

© Springer-Verlag 1969

Authors and Affiliations

  • W. Bonsels
    • 1
  • J. L. Lambert
    • 1
  1. 1.AEG-Forschungsinstitut Frankfurt a.M.Deutschland

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