Skip to main content
Log in

Teilchenspuren in der Mikrotechnik

II. Anwendungsbeispiele

  • Published:
Naturwissenschaften Aims and scope Submit manuscript

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this article

Price excludes VAT (USA)
Tax calculation will be finalised during checkout.

Instant access to the full article PDF.

ReferencesReferences

  1. Roggenkamp, H. G., et al.: Biomed. Techn. 26, 167 (1981)

    Google Scholar 

  2. Packard, R. E., et al.: Rev. Sci. Instrum. 57, 1654 (1986)

    Google Scholar 

  3. Pekola, J. P., et al.: (eingereicht)

  4. Schaupert, K.: Dissertation, Univ. Gießen 1986

  5. Schaupert, K., et al.: Appl. Phys. (im Druck)

  6. Krumme, J. P., et al.: ibid. 48, 5191 (1977)

    Google Scholar 

  7. Hansen, P., Heitmann, H.: Phys. Rev. Lett. 43, 1444 (1979)

    Google Scholar 

  8. Hansen, P., et al.: BMFT-Bericht FB T83-048, Fachinformationszentrum Karlsruhe, Eggenstein-Leopoldshafen 1983

  9. Hansen, P., et al.: BMFT-Bericht NT 2007 3, FB 293/81 (1981)

  10. Bürckner, D., et al.: Refraction by Etched Nuclear Tracks, p. 268. GSI 1986

  11. Fischer, B. E.: Graded-Index Antireflecting Surfaces, p. 216. GSI 1984

  12. Fischer, B. E.: Miscellaneous Applications of Nuclear Track Techniques, p. 269. GSI 1986

  13. Fischer, B. E., Albrecht, D., Spohr, R.: Radiat. Eff. 65, 143 (1982)

    Google Scholar 

  14. Fischer, B. E., Spohr, R.: Heavy Ion Lithography — a New Tool to Generate and Investigate Submicroscopic Structures. Institute of Semiconductor Electronics, RWTH Aachen 1979

    Google Scholar 

  15. Fischer, B. E., Genswürger, B., Spohr, R.: Int. J. Appl. Rad. Isotopes 31, 297 (1980)

    PubMed  Google Scholar 

  16. Fischer, B. E.: Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B10/11, 693 (1985)

    Google Scholar 

  17. Fischer, B. E.: Nucl. Instr. Meth. (im Druck)

Download references

Author information

Authors and Affiliations

Authors

Additional information

Wir danken M. Chlupka-Spohr, R. Handel, Chr. Trautmann und J. Vetter für wertvolle Anregungen zu diesem Bericht.

Rights and permissions

Reprints and permissions

About this article

Cite this article

Fischer, B.E., Spohr, R. Teilchenspuren in der Mikrotechnik. Naturwissenschaften 75, 117–122 (1988). https://doi.org/10.1007/BF00405301

Download citation

  • Issue Date:

  • DOI: https://doi.org/10.1007/BF00405301

Navigation