Applied Physics A

, Volume 68, Issue 3, pp 309–313 | Cite as

Spectroscopic process sensors in MOVPE device production

  • K. Haberland
  • P. Kurpas
  • M. Pristovsek
  • J.-T. Zettler
  • M. Weyers
  • W. Richter
Invited paper

PACS: 61.72.Vv; 68.35.Fx; 68.55.Ln; 78.40.Fy; 78.66.Fd; 81.05.Ea; 81.15.Gh 

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Copyright information

© Springer-Verlag 1999

Authors and Affiliations

  • K. Haberland
    • 1
  • P. Kurpas
    • 2
  • M. Pristovsek
    • 1
  • J.-T. Zettler
    • 1
  • M. Weyers
    • 2
  • W. Richter
    • 1
  1. 1.Technische Universität Berlin, Institut für Festkörperphysik, Sekr. PN 6-1, Hardenbergstr. 36, D-10623 Berlin, GermanyDE
  2. 2.Ferdinand-Braun-Institut für Höchstfrequenztechnik (FBH), Rudower Chaussee 5, D-12489 Berlin, GermanyDE

Personalised recommendations