Advertisement

Applied Physics A

, Volume 101, Issue 2, pp 447–459 | Cite as

Laser chemical processing: an overview to the 30th anniversary

  • Dieter Bäuerle
Article

Abstract

Starting with the first experiments on laser-CVD about 30 years ago, the development of laser-chemical processing will be reviewed up to the present status. This includes material deposition, etching, some types of ablation and nanoparticle formation, thin-film synthesis (PLD), and various different types of surface modifications.

Keywords

ZnTe 30th Anniversary Laser Processing Laser Parameter Precursor Molecule 
These keywords were added by machine and not by the authors. This process is experimental and the keywords may be updated as the learning algorithm improves.

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

References

  1. 1.
    D. Bäuerle, Laser Processing and Chemistry (Springer, Berlin, 1986) (1996, 2000, 2010) Google Scholar
  2. 2.
    J.C. Miller, R.F. Haglund (eds.), Laser Ablation and Desorption. Experimental Methods in the Physical Science, vol. 30 (Academic Press, San Diego, 1998) Google Scholar
  3. 3.
    N.V. Karlov, N.A. Kirichenko, B.S. Luk’yanchuk, Laser Thermochemistry (Cambridge International Science Publishing, Cambridge, 2000) Google Scholar
  4. 4.
    M. Stuke, G. Chiari, C. Fotakis, M. Menu, G. Padeletti (eds.), Science and technology of cultural heritage materials: art conservation and restoration. Appl. Phys. A 92(1) (2008) Google Scholar
  5. 5.
    B. Luk’yanchuk, S. Juodkazis, T. Lippert (eds.), Laser ablation: fundamentals. Appl. Phys. A 92(4) (2008) Google Scholar
  6. 6.
    K. Sugioka, T. Lippert, C.B. Arnold (eds.), Laser processing. Appl. Phys. A 93(1) (2008) Google Scholar
  7. 7.
    I. Zergioti, D.B. Geohegan, K. Sugioka, T. Lippert (eds.), Lasers in nanoscience, analysis and applications. Appl. Phys. A 93(4) (2008) Google Scholar
  8. 8.
    T. Lippert, F. Garrelie, D.B. Geohegan (eds.), Material growth by pulsed laser deposition. Appl. Phys. A 93(3) (2008) Google Scholar
  9. 9.
    T.F. Deutsch, D.J. Ehrlich, R.M. Osgood, Appl. Phys. Lett. 35, 175 (1979) ADSCrossRefGoogle Scholar
  10. 10.
    D.J. Ehrlich, R.M. Osgood, T.F. Deutsch, Appl. Phys. Lett. 36, 916 (1980) ADSCrossRefGoogle Scholar
  11. 11.
    G. Leyendecker, D. Bäuerle, P. Geittner, H. Lydtin, Appl. Phys. Lett. 39, 921 (1981) ADSCrossRefGoogle Scholar
  12. 12.
    D. Bäuerle, Chemical Processing with Lasers. Springer Series in Materials Science (Springer, Berlin, 1986) Google Scholar
  13. 13.
    D. Bäuerle, in Proc. MRS Symp. Laser Diagnostics and Photochemical Processing for Semi-Conductor Devices, ed. by R.M. Osgood et al., Boston, 1982, vol. 17 (Elsevier, Amsterdam, 1983), p. 19 Google Scholar
  14. 14.
    W. Kräuter, D. Bäuerle, F. Fimberger, Appl. Phys. A 31, 13 (1983) ADSCrossRefGoogle Scholar
  15. 15.
    G. Leyendecker, H. Noll, D. Bäuerle, P. Geittner, H. Lydtin, J. Electrochem. Soc. 130, 157 (1983) CrossRefGoogle Scholar
  16. 16.
    M. Boman, D. Bäuerle, unpublished (1987) Google Scholar
  17. 17.
    F.T. Wallenberger, P.C. Nordine, M. Boman, Compos. Sci. Technol. 51, 193 (1994) CrossRefGoogle Scholar
  18. 18.
    J.L. Maxwell, M. Boman, R.W. Springer, J. Narayan, S. Gnanavelu, J. Am. Chem. Soc. 128, 4405 (2006) CrossRefGoogle Scholar
  19. 19.
    J. Doppelbauer, D. Bäuerle, in Laser Processing and Diagnostics II, ed. by D. Bäuerle, K.L. Kompa, L.D. Laude (Les Editions de Physique, Les Ulis, 1986), p. 53 Google Scholar
  20. 20.
    D. Bäuerle, in Spatial Inhomogeneities and Transient Behaviour in Chemical Kinetics, ed. by P. Gray, G. Nicolis, F. Baras, P. Borckmans, S.K. Scott (Manchester University Press, Manchester, 1990), p. 541 Google Scholar
  21. 21.
    H. Westberg, M. Boman, S. Johansson, J. Schweitz, J. Appl. Phys. 73, 7864 (1993) ADSCrossRefGoogle Scholar
  22. 22.
    O. Lehmann, M. Stuke, Appl. Phys. A 53, 343 (1991) ADSCrossRefGoogle Scholar
  23. 23.
    D. Bäuerle, in Laser Processing and Diagnostics, ed. by D. Bäuerle. Springer Series in Chemical Physics, vol. 39 (Springer, Berlin, 1984), p. 166 Google Scholar
  24. 24.
    K. Piglmayer, J. Doppelbauer, D. Bäuerle, in Laser Controlled Chemical Processing of Surfaces, ed. by A.W. Johnson, D.J. Ehrlich, H.R. Schlossberg (North Holland, Amsterdam, 1984), p. 47 Google Scholar
  25. 25.
    P.B. Kargl, R. Kullmer, D. Bäuerle, Appl. Phys. A 57, 175 (1993) ADSCrossRefGoogle Scholar
  26. 26.
    K. Kasuya, K. Nagato, Y. Jin, H. Morii, T. Ooi, M. Nakao, Jpn. J. Appl. Phys. 46, L333 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  27. 27.
    S. Chiashi, M. Kohno, Y. Takata, S. Maruyama, J. Phys. Conf. Ser. 59, 155 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  28. 28.
    Z. Liu, D.J. Styers-Barnett, A.A. Puretzky, C.M. Rouleau, D. Yuan, I.N. Ivanov, K. Xiao, J. Liu, D.B. Geohegan, Appl. Phys. A 93, 987 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  29. 29.
    T.F. Deutsch, in Laser Proc. and Diagnostics, ed. by D. Bäuerle. Springer Ser. Chem. Phys., vol. 39 (Springer, Berlin, 1984), p. 239 Google Scholar
  30. 30.
    D. Eres, D.H. Lowndes, D.B. Geohegan, D.M. Mashburn, Mater. Res. Soc. Proc. 101, 355 (1988) Google Scholar
  31. 31.
    M. Meunier, J.H. Flint, J.S. Haggerty, D. Adler, J. Appl. Phys. 62, 2812 (1987) ADSCrossRefGoogle Scholar
  32. 32.
    R.J. von Gutfeld, in Laser Proc. and Diagnostics. Springer Ser. Chem. Phys., vol. 39 (Springer, Berlin, 1984), p. 323 Google Scholar
  33. 33.
    D. Bäuerle, L. Landström, J. Kofler, N. Arnold, K. Piglmayer, Proc. SPIE 5339, 20–26 (2004) ADSCrossRefGoogle Scholar
  34. 34.
    R. Kullmer, D. Bäuerle, Appl. Phys. A 43, 277 (1987) CrossRefGoogle Scholar
  35. 35.
    M. Müllenborn, H. Dirac, J.W. Petersen, S. Bouwstra, Sens. Actuators A 52, 121 (1996) CrossRefGoogle Scholar
  36. 36.
    D.J. Ehrlich, Appl. Surf. Sci. 69, 115 (1993) ADSCrossRefGoogle Scholar
  37. 37.
    G. Wysocki, J. Heitz, D. Bäuerle, Appl. Phys. Lett. 84, 2025 (2004) ADSCrossRefGoogle Scholar
  38. 38.
    R.J. von Gutfeld, R.T. Hodgson, Appl. Phys. Lett. 40, 352 (1982) ADSCrossRefGoogle Scholar
  39. 39.
    D.V. Podlesnik, H.H. Gilgen, R.M. Osgood, Appl. Phys. Lett. 45, 563 (1984) ADSCrossRefGoogle Scholar
  40. 40.
    F.E. Livingston, P.M. Adams, H. Helvajian, Appl. Phys. A 89, 97 (2007) CrossRefGoogle Scholar
  41. 41.
    D. Brodoceanu, G.D. Cole, N. Kiesel, M. Aspelmeyer, D. Bäuerle, Appl. Phys. Lett. (2010) Google Scholar
  42. 42.
    S. Gigan, H.R. Böhm, M. Paternostro, F. Blaser, G. Langer, J.B. Hertzberg, K.C. Schwab, D. Bäuerle, M. Aspelmeyer, A. Zeilinger, Nature 444, 67 (2006) ADSCrossRefGoogle Scholar
  43. 43.
    R. Böhme, S. Pissadakis, M. Ehrhardt, T. Rudolph, D. Ruthe, K. Zimmer, Conf. Ser. 59, 173 (2007) Google Scholar
  44. 44.
    Y. Kawaguchi, H. Niino, T. Sato, A. Narazaki, R. Kurosaki, J. Phys. Conf. Ser. 59, 380 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  45. 45.
    G. Kopitkovas, T. Lippert, J. Venturini, C. David, A. Wokaun, J. Phys. Conf. Ser. 59, 526 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  46. 46.
    C. Vass, K. Osvay, B. Hopp, Z. Bor, Appl. Phys. A 87, 611 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  47. 47.
    D.J. Hwang, T. Choi, C.P. Grigoropoulos, Appl. Phys. A 79, 605 (2004) ADSCrossRefGoogle Scholar
  48. 48.
    J. Wang, H. Niino, A. Yabe, Appl. Phys. A 68, 111 (1999) ADSCrossRefGoogle Scholar
  49. 49.
    D. Bäuerle, Laser Processing and Chemistry (Springer, Berlin, 1996) Google Scholar
  50. 50.
    J.M. Vadillo, J.J. Laserna, Spectrochim. Acta Part B 59, 147 (2004) ADSCrossRefGoogle Scholar
  51. 51.
    R. Noll, V. Sturm, Ü. Aydin, D. Eilers, C. Gehlen, M. Höhne, A. Lamott, J. Makowe, J. Vrenegor, Spectrochim. Acta Part B 63, 1159 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  52. 52.
    S.F. Durrant, N.I. Ward, J. Anal. At. Spectrom. 20, 821 (2005) CrossRefGoogle Scholar
  53. 53.
    J. Ihlemann, J. Békési, J.-H. Klein-Wiele, P. Simon, Laser Chem. 2008, 623872 (2008), 6 pp. doi: 10.1155/2008/623872 CrossRefGoogle Scholar
  54. 54.
    J.D. Pedarnig, M. Peruzzi, I. Vrejoiu, D.G. Matei, M. Dinescu, D. Bäuerle, Appl. Phys. A 81, 339 (2005) ADSCrossRefGoogle Scholar
  55. 55.
    J.D. Pedarnig, M. Peruzzi, H. Salhofer, R. Schwödiauer, W. Reichl, J. Runck, Appl. Phys. A 80, 1401 (2005) ADSCrossRefGoogle Scholar
  56. 56.
    W. Guo, Z.B. Wang, L. Li, D.J. Whitehead, B.S. Luk’yanchuk, Z. Liu, Appl. Phys. Lett. 90, 243101 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  57. 57.
    M. Eyett, D. Bäuerle, W. Wersing, H. Thomann, J. Appl. Phys. 62, 1511 (1987) ADSCrossRefGoogle Scholar
  58. 58.
    J. Heitz, X.Z. Wang, P. Schwab, D. Bäuerle, L. Schultz, J. Appl. Phys. 68, 2512 (1990) ADSCrossRefGoogle Scholar
  59. 59.
    J. Dou, J. Li, P.R. Herman, J.S. Aitchison, T. Fricke-Begemann, J. Ihlemann, G. Marowsky, Appl. Phys. A 91, 591 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  60. 60.
    J. Li, J. Dou, P.R. Herman, T. Fricke-Begemann, J. Ihlemann, G. Marowsky, J. Phys. Conf. Ser. 59, 691 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  61. 61.
    J. Bekesi, J. Meinertz, J. Ihlemann, P. Simon, Appl. Phys. A 93, 27 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  62. 62.
    J. Ihlemann, S. Müller, S. Puschmann, D. Schäfer, M. Wei, J. Li, P.R. Herman, Appl. Phys. A 76, 751 (2003) ADSCrossRefGoogle Scholar
  63. 63.
    S. Haas, G. Schöpe, C. Zahren, H. Stiebig, Appl. Phys. A 92, 755 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  64. 64.
    W. Pfleging, A. Ludwig, K. Seemann, R. Preu, H. Mäckel, S.W. Glunz, Appl. Surf. Sci. 154–155, 633 (2000) CrossRefGoogle Scholar
  65. 65.
    W. Pfleging, T. Hanemann, M. Torge, W. Bernauer, Proc. Inst. Mech. Eng. J. Mech. Eng. Sci. C 217 (2003), Special issue Google Scholar
  66. 66.
    R. Srinivasan, V. Mayne-Banton, Appl. Phys. Lett. 41, 576 (1982) ADSCrossRefGoogle Scholar
  67. 67.
    R. Srinivasan, in Laser Proc. and Diagnostics, ed. by D. Bäuerle. Springer Ser. Chem. Phys., vol. 39 (Springer, Berlin, 1984), p. 343 Google Scholar
  68. 68.
    Y. Kawamura, K. Toyoda, S. Namba, Appl. Phys. Lett. 40, 374 (1982) ADSCrossRefGoogle Scholar
  69. 69.
    S. Küper, J. Brannon, K. Brannon, Appl. Phys. A 56, 43 (1993) ADSCrossRefGoogle Scholar
  70. 70.
    M. Himmelbauer, E. Arenholz, D. Bäuerle, K. Schilcher, Appl. Phys. A 63, 337 (1996) ADSCrossRefGoogle Scholar
  71. 71.
    K. Piglmayer, E. Arenholz, C. Ortwein, N. Arnold, D. Bäuerle, Appl. Phys. Lett. 73, 847 (1998) ADSCrossRefGoogle Scholar
  72. 72.
    D. Bäuerle, K. Piglmayer, R. Denk, N. Arnold, Lambda Phys. Highlights 60, 1 (2002) Google Scholar
  73. 73.
    B. Luk’yanchuk (ed.), Laser Cleaning (World Scientific, Singapore, 2002) Google Scholar
  74. 74.
    D.M. Kane (ed.), Laser Cleaning II (World Scientific, Singapore, 2007) Google Scholar
  75. 75.
    R.E. Russo, X. Mao, in Laser Ablation and Desorption, ed. by J.C. Miller, R.F. Haglund. Exp. Meth. in Phys. Sci., vol. 30 (Academic Press, San Diego, 1998), p. 375 CrossRefGoogle Scholar
  76. 76.
    G. Isenberg, W. Bielser, W. Meier-Ruge, E. Remy, J. Microsc. 107, 19 (1976) Google Scholar
  77. 77.
    W. Meier-Ruge, W. Bielser, E. Remy, F. Hillenkamp, R. Nitsche, R. Unsöld, Histochem J. 8, 387 (1976) CrossRefGoogle Scholar
  78. 78.
    R. Srinivasan, Science 234, 559 (1986) ADSCrossRefGoogle Scholar
  79. 79.
    W. Husinsky, S. Mitterer, G. Grabner, I. Baumgartner, Appl. Phys. B 49, 463 (1989) ADSCrossRefGoogle Scholar
  80. 80.
    T.F. Deutsch, in Laser Abl.—Mechan. and Appl, ed. by J.C. Miller, R.F. Haglund. Lecture Notes Phys., vol. 389 (Springer, Berlin, 1991) CrossRefGoogle Scholar
  81. 81.
    K. Schütze, G. Lahr, Nat. Biotechnol. 16, 737 (1998) CrossRefGoogle Scholar
  82. 82.
    M.H. Niemz, Laser-Tissue Interactions—Fundamentals and Applications. Biological and Medical Physics Series (Springer, Berlin, 2002) Google Scholar
  83. 83.
    A. Vogel, J. Noack, G. Hüttmann, G. Paltauf, J. Phys. Conf. Ser. 59, 249 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  84. 84.
    N. Bityurin, B.S. Luk’yanchuk, M.H. Hong, T.C. Chong, Chem. Rev. 103, 519 (2003) CrossRefGoogle Scholar
  85. 85.
    M. Prasad, P.F. Conforti, B.J. Garrison, Appl. Phys. A 92, 877 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  86. 86.
    S.R. John, S.C. Langford, J.T. Dickinson, Appl. Phys. A 92, 981 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  87. 87.
    A. Ancona, F. Röser, K. Rademaker, J. Limpert, S. Nolte, A. Tünnermann, Opt. Express 16, 8958 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  88. 88.
    S. Zoppel, H. Huber, G.A. Reider, Appl. Phys. A 89, 161 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  89. 89.
    S. Nolte, C. Momma, G. Kamlage, A. Ostendorf, C. Fallnich, F. von Alvensleben, H. Welling, Appl. Phys. A 68, 563 (1999) ADSCrossRefGoogle Scholar
  90. 90.
    S. Proyer, E. Stangl, P. Schwab, D. Bäuerle, P. Simon, C. Jordan, Appl. Phys. A 58, 471 (1994) ADSCrossRefGoogle Scholar
  91. 91.
    M. Bonn, D.N. Denzler, S. Funk, M. Wolf, S.-S. Wellershoff, J. Hohlfeld, Phys. Rev. B 61, 1101 (2000) ADSCrossRefGoogle Scholar
  92. 92.
    J. Hohlfeld, S. Wellershoff, J. Güdde, U. Conrad, V. Jähnke, E. Matthias, Chem. Phys. 251, 237 (2000) CrossRefGoogle Scholar
  93. 93.
    S.I. Anisimov, B.L. Kapeliovich, T.L. Perel’man, Sov. Phys. JETP 39, 375 (1974) ADSGoogle Scholar
  94. 94.
    Z. Lin, L.V. Zhigilei, V. Celli, Phys. Rev. B 77, 075133 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  95. 95.
    Y. Hanada, K. Sugioka, H. Kawano, I. Shihira Ishikawa, A. Miyawaki, K. Midorikawa, Appl. Surf. Sci. 255, 9893 (2009) ADSCrossRefGoogle Scholar
  96. 96.
    K. Sugioka, Y. Cheng, K. Midorikawa, F. Takase, H. Takai, Opt. Lett. 31, 208 (2006) ADSCrossRefGoogle Scholar
  97. 97.
    K. Sugioka, Y. Hanada, K. Midorikawa, Appl. Surf. Sci. 253, 6595 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  98. 98.
    K. Chen, J. Ihlemann, P. Simon, I. Baumann, W. Sohler, Appl. Phys. A 65, 517 (1997) ADSCrossRefGoogle Scholar
  99. 99.
    F. Beinhorn, J. Ihlemann, P. Simon, G. Marowsky, B. Maisenhölder, J. Edlinger, D. Neuschläfer, D. Anselmetti, Appl. Surf. Sci. 138–139, 107 (1999) CrossRefGoogle Scholar
  100. 100.
    S.M. Eaton, H. Zhang, P.R. Herman, F. Yoshino, L. Shah, J. Bovatsek, A.Y. Arai, Opt. Express 13, 4708 (2005) ADSCrossRefGoogle Scholar
  101. 101.
    X.R. Zhang, X. Xu, A.M. Rubenchik, Appl. Phys. A 79, 945 (2004) ADSGoogle Scholar
  102. 102.
    J. Krüger, W. Kautek, M. Lenzner, S. Sartania, C. Spielmann, F. Krausz, Proc. SPIE 2991, 40 (1997) ADSCrossRefGoogle Scholar
  103. 103.
    M. Lenzner, J. Krüger, S. Sartania, Z. Cheng, C. Spielmann, G. Mourou, W. Kautek, F. Krausz, Phys. Rev. Lett. 80, 4076 (1998) ADSCrossRefGoogle Scholar
  104. 104.
    B.C. Stuart, M.D. Feit, S. Herman, A.M. Rubenchik, B.W. Shore, M.D. Perry, J. Opt. Soc. Am. B 13, 459 (1996) ADSCrossRefGoogle Scholar
  105. 105.
    B. Rethfeld, Phys. Rev. B 73, 035101 (2006) ADSCrossRefGoogle Scholar
  106. 106.
    N.M. Bulgakova, R. Stoian, A. Rosenfeld, I.V. Hertel, W. Marine, E.E.B. Campbell, Appl. Phys. A 81, 345 (2005) ADSCrossRefGoogle Scholar
  107. 107.
    L.V. Zhigilei, B.J. Garrison, Appl. Phys. A 69, 75 (1999) ADSGoogle Scholar
  108. 108.
    L.V. Zhigilei, Appl. Phys. A 76, 339 (2003) ADSCrossRefGoogle Scholar
  109. 109.
    M.B. Agranat, S.I. Anisimov, S.I. Ashitkov, V.V. Zhakhovskii, N.A. Inogamov, K. Nishihara, Yu.V. Petrov, V.E. Fortov, V.A. Khokhlov, Appl. Surf. Sci. 253, 6276 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  110. 110.
    A.K. Upadhyay, N.A. Inogamov, B. Rethfeld, H.M. Urbassek, Phys. Rev. B 78, 045437 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  111. 111.
    D.J. Hwang, A. Chimmalgi, C.P. Grigoropoulos, J. Appl. Phys. 99, 044905 (2006) ADSCrossRefGoogle Scholar
  112. 112.
    M.H. Hong, Y. Lin, G.X. Chen, L.S. Tan, Q. Xie, B. Luk’yanchuk, L.P. Shi, T.C. Chong, J. Phys. Conf. Ser. 59, 64 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  113. 113.
    J.H. Klein-Wiele, P. Simon, Appl. Phys. Lett. 83, 4707 (2003) ADSCrossRefGoogle Scholar
  114. 114.
    D. Brodoceanu, L. Landström, D. Bäuerle, Appl. Phys. A 86, 313 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  115. 115.
    Y. Zhou, M.H. Hong, J.Y.H. Fuh, L. Lu, B.S. Luk’yanchuk, Z.B. Wang, J. Alloys Compound. 449, 246 (2008) CrossRefGoogle Scholar
  116. 116.
    B. Liu, Z. Hu, Y. Che, Y. Chen, X. Pan, Appl. Phys. Lett. 90, 044103 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  117. 117.
    T. Seto, K. Koga, H. Akinaga, F. Takano, T. Orii, M. Hirasawa, J. Nanopart. Res. 8, 371 (2006) CrossRefGoogle Scholar
  118. 118.
    Z. Pászti, Z.E. Horváth, G. Peto, A. Karacs, L. Guczi, Appl. Surf. Sci. 109–110, 67 (1997) CrossRefGoogle Scholar
  119. 119.
    T. Makino, N. Suzuki, Y. Yamada, T. Yoshida, T. Seto, N. Aya, Appl. Phys. A 69(Suppl.), S243 (1999) ADSGoogle Scholar
  120. 120.
    D.B. Geohegan, A.A. Puretzky, G. Duscher, S.J. Pennycook, Appl. Phys. Lett. 72, 2987 (1998) ADSCrossRefGoogle Scholar
  121. 121.
    W. Marine, B. Luk’yanchuk, M. Sentis, Le VIDE Sci. Tech. Appl. 2–4(288), 440 (1998) Google Scholar
  122. 122.
    J. Muramoto, Y. Nakata, T. Okada, M. Maeda, Appl. Surf. Sci. 127–129, 373 (1998) CrossRefGoogle Scholar
  123. 123.
    D.H. Lowndes, C.M. Rouleau, T. Thundat, G. Duscher, E.A. Kenik, S.J. Pennycook, Appl. Surf. Sci. 127–129, 355 (1998) CrossRefGoogle Scholar
  124. 124.
    A.A. Puretzky, D.J. Styers-Barnett, C.M. Rouleau, H. Hu, B. Zhao, I.N. Ivanov, D.B. Geogehan, Appl. Phys. A 93, 849 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  125. 125.
    N.R. Madsen, E.G. Gamaly, A.V. Rode, B. Luther-Davies, J. Phys. Conf. Ser. 59, 762 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  126. 126.
    F. Kokai, K. Takahashi, D. Kasuya, M. Yudasaka, S. Iijima, Appl. Surf. Sci. 197–198, 650 (2002) CrossRefGoogle Scholar
  127. 127.
    F. Kokai, K. Takahashi, M. Yudasaka, S. Iijima, Appl. Phys. A 69(Suppl.), S229 (1999) ADSGoogle Scholar
  128. 128.
    A.A. Gorbunov, R. Friedlein, O. Jost, M.S. Golden, J. Fink, W. Pompe, Appl. Phys. A 69(Suppl.), S593 (1999) ADSCrossRefGoogle Scholar
  129. 129.
    M. Ullmann, S.K. Friedlander, A. Schmidt-Ott, J. Nanopart. Res. 4, 499 (2002) CrossRefGoogle Scholar
  130. 130.
    D.B. Geohegan, A.A. Puretzky, D.J. Rader, Appl. Phys. Lett. 74, 3788 (1999) ADSCrossRefGoogle Scholar
  131. 131.
    T. Sasaki, S. Terauchi, N. Koshizaki, H. Umehara, Appl. Surf. Sci. 127–129, 398 (1998) CrossRefGoogle Scholar
  132. 132.
    K. Hiromatsu, D.J. Hwang, C.P. Grigoropoulos, Micro Nano Lett. 3, 121 (2008) CrossRefGoogle Scholar
  133. 133.
    J. Heitz, J.T. Dickinson, Appl. Phys. A 68, 515 (1999) ADSCrossRefGoogle Scholar
  134. 134.
    J.P. Sylvestre, A.V. Kabashin, E. Sacher, M. Meunier, J.H.T. Luong, J. Am. Chem. Soc. 126, 7176 (2004) CrossRefGoogle Scholar
  135. 135.
    S. Masai K. Hirata, T. Sakka, Y.H. Ogata, J. Phys. Conf. Ser. 59, 198 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  136. 136.
    N.V. Tarasenko, A.V. Butsen, A.A. Nevar, Appl. Phys. A 93, 837 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  137. 137.
    A. Abdolvand, S.Z. Khan, Y. Yuan, P.L. Crouse, M.J.J. Schmidt, M. Sharp, Z. Liu, L. Li, Appl. Phys. A 91, 365 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  138. 138.
    N. Takada, T. Sasaki, K. Sasaki, Appl. Phys. A 93, 833 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  139. 139.
    I. Umezu, H. Minami, H. Senoo, A. Sugimura, J. Phys. Conf. Ser. 59, 392 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  140. 140.
    N.G. Semaltianos, S. Logothetidis, W. Perrie, S. Romani, R.J. Potter, M. Sharp, P. French, G. Dearden, K.G. Watkins, Appl. Phys. A 94, 641 (2009) ADSCrossRefGoogle Scholar
  141. 141.
    I. Elaboudi, S. Lazare, C. Belin, D. Talaga, C. Labrugère, Appl. Phys. A 93, 827 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  142. 142.
    T. Venkatesan, X.D. Wu, B. Dutta, A. Inam, M.S. Hedge, D.M. Hwang, C.C. Chang, L. Nazar, B. Wilkens, Appl. Phys. Lett. 54, 581 (1989) ADSCrossRefGoogle Scholar
  143. 143.
    R. Rössler, J.D. Pedarnig, D. Bäuerle, E.J. Connolly, H.W. Zandbergen, Appl. Phys. A 71, 245 (2000) ADSCrossRefGoogle Scholar
  144. 144.
    W. Markowitsch, C. Stockinger, W. Lang, K. Bierleutgeb, J.D. Pedarnig, D. Bäuerle, Appl. Phys. Lett. 71, 1246 (1997) ADSCrossRefGoogle Scholar
  145. 145.
    S.H. Yun, J.D. Pedarnig, R. Rössler, D. Bäuerle, X. Obradors, Appl. Phys. Lett. 77, 1369 (2000) ADSCrossRefGoogle Scholar
  146. 146.
    H. Richter, I. Puica, W. Lang, M. Peruzzi, J.H. Durrell, H. Sturm, J.D. Pedarnig, D. Bäuerle, Phys. Rev. B 73, 184506 (2006) ADSCrossRefGoogle Scholar
  147. 147.
    J.H. Durrell, G. Gibson, Z.H. Barber, J.E. Evetts, R. Rössler, J.D. Pedarnig, D. Bäuerle, Appl. Phys. Lett. 77, 1686 (2000) ADSCrossRefGoogle Scholar
  148. 148.
    J.H. Durrell, J.E. Evetts, R. Rössler, M.P. Delamare, J.D. Pedarnig, D. Bäuerle, Appl. Phys. Lett. 83, 4999 (2003) ADSCrossRefGoogle Scholar
  149. 149.
    Y.S. Wu, Y. Zhao, D. Wexler, J.H. Kim, S.X. Dou, Physica C 468, 218 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  150. 150.
    H.Y. Zhai, H.M. Christen, L. Zhang, C. Cantoni, M. Paranthaman, B.C. Sales, D.K. Christen, D.H. Lowndes, Appl. Phys. Lett. 79, 2603 (2001) ADSCrossRefGoogle Scholar
  151. 151.
    K. Iida, J. Hänisch, R. Hühne, F. Kurth, M. Kidszun, S. Haindl, J. Werner, L. Schultz, B. Holzapfel, Appl. Phys. Lett. 95, 192501 (2009) ADSCrossRefGoogle Scholar
  152. 152.
    H. Fuji, M. Igarashi, Y. Hanada, T. Miura, S. Hanyu, K. Kakimoto, Y. Iijima, T. Saitoh, Physica C 468, 1510 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  153. 153.
    R. Eason (ed.), Pulsed Laser Deposition of Thin Films: Applications-Led Growth of Functional Materials (Wiley, New York, 2007) Google Scholar
  154. 154.
    R. Migoni, H. Bilz, D. Bäuerle, Phys. Rev. Lett. 37, 1155 (1976) ADSCrossRefGoogle Scholar
  155. 155.
    D. Bäuerle, D. Wagner, M. Wöhlecke, B. Dorner, H. Kraxenberger, Soft modes in semiconducting SrTiO3: II. The ferroelectric mode. Z. Physik B 38, 335 (1980) ADSCrossRefGoogle Scholar
  156. 156.
    D.A. Muller, N. Nakagawa, A. Ohtomo, J.L. Grazul, H.Y. Hwang, Nature 430, 657 (2004) ADSCrossRefGoogle Scholar
  157. 157.
    A. Brinkman, M. Huijben, M. van Zalk, J. Huijben, U. Zeitler, J.C. Maan, W.G. van der Wiel, G. Rijnders, D.H.A. Blank, H. Hilgemkamp, Nat. Mater. Lett. 6, 493 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  158. 158.
    N. Reyren, S. Thiel, A.D. Caviglia, L. Fitting Kourkoutis, G. Hammerl, C. Richter, C.W. Schneider, T. Kopp, A.-S. Rüetschi, D. Jaccard, M. Gabay, D.A. Muller, J.-M. Triscone, J. Mannhart, Science 317, 1196 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  159. 159.
    A.D. Caviglia, S. Gariglio, N. Reyren, D. Jaccard, T. Schneider, M. Gabay, S. Thiel, G. Hammerl, J. Mannhart, J.-M. Triscone, Nature 456, 624 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  160. 160.
    M. Meunier, J.-S. Bernier, J.-P. Sylvestre, A.V. Kabashin, Appl. Surf. Sci. 254, 2771 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  161. 161.
    D.J. Late, P. Misra, B.N. Singh, L.M. Kukreja, D.S. Joag, M.A. More, Appl. Phys. A 95, 613 (2009) ADSCrossRefGoogle Scholar
  162. 162.
    M. Kawasaki, A. Ohtomo, I. Ohkubo, H. Koinuma, Z.K. Tang, P. Yu, G.K.L. Wong, B.P. Zhang, Y. Segawa, Mater. Sci. Eng. B 56, 239 (1998) CrossRefGoogle Scholar
  163. 163.
    K.J. Lethy, D. Beena, R. Vinod Kumar, V.P. Mahadevan Pillai, V. Ganesan, V. Sathe, D.M. Phase, Appl. Phys. A 91, 637 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  164. 164.
    J. Gonzalo, A. Perea, D. Babonneau, C.N. Afonso, N. Beer, J.P. Barnes, A.K. Petford-Long, D.E. Hole, P.D. Townsend, Phys. Rev. B 71, 125420 (2005) ADSCrossRefGoogle Scholar
  165. 165.
    A. Suarez-Garcia, R. del Coso, R. Serna, J. Solis, C.N. Afonso, Appl. Phys. Lett. 83, 1842 (2003) ADSCrossRefGoogle Scholar
  166. 166.
    J.P. Barnes, A.K. Petford-Long, R.C. Doole, R. Serna, J. Gonzalo, A. Suarez-Garcia, C.N. Afonso, D. Hole, Nanotechnology 13, 465 (2002) ADSCrossRefGoogle Scholar
  167. 167.
    K. Siraj, J.D. Pedarnig, A. Moser, D. Bäuerle, N. Hari Babu, D.A. Cardwell, Europhys. Lett. 82, 57006 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  168. 168.
    J. Röder, J. Faupel, H.-U. Krebs, Appl. Phys. A 93, 863 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  169. 169.
    J. Margueritat, J. Gonzalo, C.N. Afonso, U. Hörmann, G. Van Tendeloo, A. Mlayah, D.B. Murray, L. Saviot, Y. Zhou, M.H. Hong, B.S. Luk’yanchuk, Nanotechnology 19, 375701 (2008) CrossRefGoogle Scholar
  170. 170.
    G.B. Blanchet, J. Appl. Phys. 80, 4082 (1996) ADSCrossRefGoogle Scholar
  171. 171.
    H.Y. Kwong, M.H. Wong, Y.W. Hong, K.H. Wong, Appl. Surf. Sci. 253, 8841 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  172. 172.
    S.T. Li, E. Arenholz, J. Heitz, D. Bäuerle, Appl. Surf. Sci. 125, 17 (1998) ADSCrossRefGoogle Scholar
  173. 173.
    R. Schwödiauer, S. Bauer-Gogonea, S. Bauer, J. Heitz, E. Arenholz, D. Bäuerle, Appl. Phys. Lett. 73, 2941 (1998) ADSCrossRefGoogle Scholar
  174. 174.
    B. Hopp, T. Smausz, G. Kecskeméti, A. Klini, Zs. Bor, Appl. Surf. Sci. 253, 7806 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  175. 175.
    R.F. Haglund, S.L. Johnson, H.K. Park, J. Laser Micro/Nanoeng. 2, 234 (2007) CrossRefGoogle Scholar
  176. 176.
    N.L. Dygert, A.P. Gies, K.E. Schriver, R.F. Haglund, Appl. Phys. A 89, 481 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  177. 177.
    J. Burghoff, S. Nolte, A. Tünnermann, Appl. Phys. A 89, 127 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar
  178. 178.
    A. Szameit, F. Dreisow, M. Heinrich, T. Pertsch, S. Nolte, A. Tünnermann, E. Suran, F. Louradour, A. Barthelemy, S. Longhi, Appl. Phys. Lett. 93, 181109 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  179. 179.
    S. Nolte, M. Will, J. Burghoff, A. Tuennermann, Appl. Phys. A 77, 109 (2003) ADSCrossRefGoogle Scholar
  180. 180.
    M. Olbrich, E. Rebollar, J. Heitz, I. Frischauf, C. Romanin, Appl. Phys. Lett. 92, 013901 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  181. 181.
    T. Gumpenberger, J. Heitz, D. Bäuerle, H. Kahr, I. Graz, C. Romanin, V. Svorcik, F. Leisch, Biomaterials 24, 5139 (2003) CrossRefGoogle Scholar
  182. 182.
    Y. Hanada, K. Sugioka, H. Kawano, T. Tsuchimoto, I. Miyamoto, A. Miyawaki, K. Midorikawa, Appl. Surf. Sci. 255, 9885 (2009) ADSCrossRefGoogle Scholar
  183. 183.
    B. Hopp, T. Smausz, B. Papdi, Z. Bor, A. Szabó, L. Kolozsvári, C. Fotakis, A. Nógrádi, Appl. Phys. A 93, 45 (2008) ADSCrossRefGoogle Scholar
  184. 184.
    W. Pfleging, M. Bruns, A. Welle, S. Wilson, Appl. Surf. Sci. 253, 9177 (2007) ADSCrossRefGoogle Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag 2010

Authors and Affiliations

  1. 1.Institut für Angewandte PhysikJohannes-Kepler-Universität LinzLinzAustria

Personalised recommendations