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Microchimica Acta

, Volume 56, Issue 1, pp 182–200 | Cite as

Quantitative electron probe microanalysis: Absorption correction uncertainty

  • H. Yakowitz
  • K. F. J. Heinrich
Article

Keywords

Physical Chemistry Analytical Chemistry Inorganic Chemistry Electron Probe Electron Probe Microanalysis 
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Zusammenfassung

Die Genauigkeit der Röntgenstrahl-Absorptionskorrektur für die quantitative Mikrosondenanalyse ist von Fehlern der benützten Parameter (Massenabschwächungskoeffizienten, Austrittswinkel und Arbeitsspannung) und auch von Ungenauigkeiten in der Form der Korrektur beeinflußt. Wenn der Abschwächungskoeffizient mit 5% Genauigkeit bekannt ist, so muß die Absorptionsfunktion,f(χ), 0,8 oder größer sein, um den Korrekturfehler unter 1% zu halten. Die zur Verminderung der Absorptionskorrektur nötigen Arbeitsbedingungen werden angegeben und die Vorteile eines großen Austrittswinkels nachgewiesen. Die theoretische und experimentelle Analyse von Aluminium-Magnesium-Legierungen wird als Erläuterungsbeispiel verwendet.

Résumé

L'exactitude de la correction d'absorption dans l'analyse quantitative par sonde électronique est disminuée á conséquence des erreurs des paramétres utilisés (coefficients d'absorption massique, angle d'émergence du rayonnement analysé, et tension d'accélération des électrons) et du modéle de correction. Si le coefficient d'absorption est connu á 5% prés, pour éviter des erreurs plus grandes que 1%, il faut que la fonction d'absorptionf(χ) soit 0,8. On indique les conditions expérimentales conduisant á une faible correction d'absorption et on démontre les vantages d'un angle d'émergence élevé. L'analyse théoretique et expérimentale des alliages aluminium-magnésium est utilisée á maniére d'example.

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Copyright information

© Springer-Verlag 1968

Authors and Affiliations

  • H. Yakowitz
    • 1
  • K. F. J. Heinrich
    • 1
  1. 1.National Bureau of StandardsWashington, D. CUSA

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