Quantitative Röntgenfluorescenzanalyse geringster Substanzmengen mit der Filterdifferenzmethode

Zusammenfassung

In Anlehnung an ein von Ross angegebenes Filterdifferenzverfahren wird eine neue Methode der röntgenfluorescenzanalytischen Messung der Menge und Zusammensetzung von Verbindungen oder Gemischen aus bekannten Bestandteilen beschrieben. Gegenüber dem bisherigen Verfahren mit Goniometer und Analysatorkristall zeichnet sich diese Methode durch eine größere Lichtstärke aus.

Es ist dadurch möglich, Substanzmengen bis herab zu etwa 10⁻⁹ g quantitativ zu analysieren. Am Beispiel der Messung der lokalen Dicke und Zusammensetzung dünner aufgedampfter Nickel-Eisenschichten in Bereichen von 0,1 mm Durchmesser wird das Verfahren erläutert.