Applied Physics A

, Volume 66, Issue 1, pp 35–42

Ultrashort pulse laser ablation of silicon: an MD simulation study

Authors

  • R.F.W. Herrmann
    • Max-Born Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie, Postfach 1107, D-12474 Berlin-Adlershof, Germany (Fax: +49 30 6392 1229, E-mail: campbell@mbi.fta-berlin.de)
  • J. Gerlach
    • GMD-FIRST, Rudower Chaussee 5, 12489 Berlin-Adlershof, Germany
  • E.E.B. Campbell
    • Max-Born Institut für Nichtlineare Optik und Kurzzeitspektroskopie, Postfach 1107, D-12474 Berlin-Adlershof, Germany (Fax: +49 30 6392 1229, E-mail: campbell@mbi.fta-berlin.de)
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DOI: 10.1007/s003390050634

Cite this article as:
Herrmann, R., Gerlach, J. & Campbell, E. Appl Phys A (1998) 66: 35. doi:10.1007/s003390050634

PACS: 79.20.Ds; 61.80.Az

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