, Volume 78, Issue 5-6, pp 318-339

Das Elektronenmikroskop

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Zusammenfassung

Die wichtigsten elektronenoptischen Abbildungssysteme und ihre Eignung für die vergrößerte Abbildung elektronenemittierender Objekte werden diskutiert. Die allgemeinen Bedingungen für fehlerfreie Bilder, Definition und Grenze des Auflösungsvermögens werden angegeben. Ein magnetisches Elektronenmikroskop mit kalter Kathode für schnelle Elektronen und die Ausführung magnetischer Linsen werden beschrieben und mehrere Mikrophotogramme wiedergegeben. Die Untersuchungsmethoden des Elektronenmikroskops und geeignete Abbildungssysteme für ein Ionenmikroskop werden besprochen.

Herrn Prof. Matthias danken wir für die freundliche Unterstützung unserer Arbeiten; der Notgemeinschaft der Deutschen Wissenschaft und der Studiengesellschaft für Höchstspannungsanlagen für die Bereitstellung der Mittel, die die Durchführung des experimentellen Teiles ermöglichten.