, Volume 109, Issue 9-10, pp 553-572

Das Elektronen-Rastermikroskop

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Zusammenfassung

Das Prinzip des Elektronen-Rastermikroskops. Herstellung der Elektronensonde. Herstellung des Rasters. Die verschiedenen Beleuchtungsarten. Untersuchung von Objekten in Luft. Die Grenzen für das Auflösungsvermögen des Rastermikroskops. IntensitÄtsfragen und Auflösungsvermögen. Zusammenfassung.